Apakah aplikasi laser eksimer berdenyut?

Laser excimer berdenyut ialah jenis laser yang luar biasa yang telah menemui pelbagai aplikasi dalam pelbagai industri. Sebagai pembekal excimer terkemuka, saya teruja untuk berkongsi dengan anda pelbagai kegunaan laser berkuasa ini.

1. Industri Semikonduktor

Dalam industri semikonduktor, laser excimer berdenyut memainkan peranan penting dalam beberapa proses utama. Salah satu aplikasi utama adalah dalam fotolitografi. Fotolitografi ialah proses memindahkan corak geometri daripada topeng foto kepada fotoresist kimia sensitif cahaya pada wafer semikonduktor. Laser excimer, terutamanya yang beroperasi pada panjang gelombang seperti 193 nm (argon - fluoride, ArF) dan 248 nm (krypton - fluoride, KrF), digunakan sebagai sumber cahaya dalam sistem fotolitografi termaju.

Panjang gelombang pendek laser excimer membolehkan corak resolusi tinggi, yang penting untuk penghasilan cip semikonduktor yang lebih kecil dan berkuasa. Memandangkan permintaan untuk saiz ciri yang lebih kecil dalam litar bersepadu terus berkembang, penggunaan laser excimer dalam fotolitografi menjadi lebih kritikal. Sebagai contoh, mikropemproses moden dan cip memori memerlukan saiz ciri dalam julat nanometer, dan sistem fotolitografi berasaskan excimer mampu mencapai corak ketepatan tinggi sedemikian.

Satu lagi aplikasi dalam industri semikonduktor ialah penyepuhlindapan laser. Penyepuhlindapan laser adalah proses yang digunakan untuk membaiki kerosakan kekisi kristal yang disebabkan oleh implantasi ion dalam pembuatan semikonduktor. Laser excimer berdenyut boleh memberikan denyutan tenaga tinggi dalam masa yang sangat singkat, yang membolehkan pemanasan dan penyejukan bahan semikonduktor dengan pantas. Proses ini boleh mengaktifkan dopan yang diimplan dengan berkesan dan meningkatkan sifat elektrik peranti semikonduktor. Keupayaan laser excimer untuk melakukan penyepuhlindapan setempat dengan ketepatan tinggi menjadikannya pilihan yang ideal untuk aplikasi ini. Anda boleh mengetahui lebih lanjut tentang kamiSistem Excimeryang direka khusus untuk memenuhi keperluan prestasi tinggi industri semikonduktor.

2. Bidang Perubatan

Bidang perubatan juga telah mendapat banyak manfaat daripada penggunaan laser excimer berdenyut. Salah satu aplikasi yang paling terkenal adalah dalam pembedahan mata biasan, seperti LASIK (Laser - Assisted in Situ Keratomileusis). Dalam pembedahan LASIK, laser excimer digunakan untuk membentuk semula kornea mata untuk membetulkan ralat biasan seperti rabun (rabun dekat), hiperopia (rabun jauh), dan astigmatisme.

Laser excimer memancarkan cahaya ultraungu pada panjang gelombang tertentu (biasanya 193 nm) yang boleh mengecilkan tisu kornea dengan tepat tanpa menyebabkan kerosakan haba yang ketara pada kawasan sekitarnya. Ini membolehkan pembentukan semula kornea yang sangat tepat dan terkawal, menghasilkan penglihatan yang lebih baik untuk pesakit. Sifat nadi pendek laser excimer memastikan proses ablasi cepat dan meminimumkan risiko komplikasi.

Laser excimer juga digunakan dalam dermatologi. Mereka boleh digunakan untuk merawat pelbagai keadaan kulit, termasuk psoriasis, vitiligo, dan parut jerawat. Dalam rawatan psoriasis, laser excimer boleh menyasarkan kawasan kulit yang terjejas dan menyampaikan cahaya ultraviolet intensiti tinggi yang boleh menyekat tindak balas imun yang terlalu aktif dalam sel kulit. Ini membantu mengurangkan keradangan dan kerak yang berkaitan dengan psoriasis. Untuk rawatan vitiligo, laser excimer boleh merangsang pengeluaran melanosit dalam kulit, yang boleh membantu untuk repigment tompok putih. kamiLampu Excimermenyediakan sumber cahaya yang boleh dipercayai untuk aplikasi perubatan ini, memastikan rawatan yang selamat dan berkesan.

3. Pemprosesan Bahan

Dalam pemprosesan bahan, laser excimer berdenyut menawarkan keupayaan unik untuk memotong, menggerudi, dan pengubahsuaian permukaan pelbagai bahan. Disebabkan oleh denyutan tenaga tinggi dan panjang gelombang pendek, laser excimer boleh menghilangkan bahan dengan ketepatan tinggi dan zon terjejas haba yang minimum.

Sebagai contoh, dalam pembuatan papan litar bercetak (PCB), laser excimer boleh digunakan untuk menggerudi mikro - vias. Mikro - vias ialah lubang kecil yang digunakan untuk menyambungkan lapisan PCB yang berbeza. Sifat penggerudian laser excimer beresolusi tinggi dan tidak bersentuhan memungkinkan untuk mencipta vias yang sangat kecil dan tepat, yang penting untuk pengecilan peranti elektronik.

Laser excimer juga boleh digunakan untuk pengubahsuaian permukaan bahan. Mereka boleh mengubah sifat permukaan logam, polimer dan seramik, seperti meningkatkan lekatan salutan, meningkatkan kebolehbasahan permukaan, atau mencipta struktur mikro - dan nano - pada permukaan bahan. Pengubahsuaian permukaan ini boleh meningkatkan prestasi dan kefungsian bahan dalam pelbagai aplikasi, seperti dalam industri automotif dan aeroangkasa. kamiPeralatan Excimerdireka untuk menyediakan penyelesaian yang boleh dipercayai dan cekap untuk aplikasi pemprosesan bahan.

4. Penyelidikan Saintifik

Dalam penyelidikan saintifik, laser excimer berdenyut adalah alat yang berharga untuk pelbagai eksperimen. Mereka sering digunakan dalam spektroskopi, yang merupakan kajian interaksi antara jirim dan sinaran elektromagnet. Laser excimer boleh menjana cahaya berintensiti tinggi pada panjang gelombang tertentu, yang boleh digunakan untuk merangsang atom dan molekul dalam sampel. Dengan menganalisis spektrum pelepasan atau penyerapan yang terhasil, saintis boleh mendapatkan pandangan tentang struktur dan sifat sampel.

Laser excimer juga digunakan dalam spektroskopi kerosakan akibat laser (LIBS). Dalam LIBS, nadi laser excimer tenaga tinggi difokuskan pada sampel, menghasilkan plasma. Spektrum pelepasan plasma boleh dianalisis untuk menentukan komposisi unsur sampel. Teknik ini digunakan secara meluas dalam bidang seperti sains alam sekitar, geologi, dan sains bahan untuk analisis unsur yang cepat dan tidak merosakkan.

5. Industri Paparan

Industri paparan juga telah mula menggunakan laser excimer berdenyut untuk beberapa aplikasi. Dalam pengeluaran paparan diod pemancar cahaya organik (OLED), laser excimer digunakan untuk penghabluran laser silikon amorf. Proses penghabluran laser boleh menukar silikon amorfus kepada silikon polihabluran, yang mempunyai sifat elektrik yang lebih baik. Ini membolehkan fabrikasi transistor filem nipis berprestasi tinggi (TFT) yang digunakan untuk memacu piksel OLED.

Keupayaan pemprosesan berketepatan tinggi dan berkelajuan tinggi laser excimer menjadikannya sesuai untuk pengeluaran paparan OLED berskala besar. Mereka boleh memastikan penghabluran seragam di seluruh panel paparan, menghasilkan kualiti imej yang lebih baik dan hasil yang lebih tinggi dalam proses pembuatan.

Hubungi untuk Perolehan

Sebagai pembekal excimer, kami komited untuk menyediakan produk dan penyelesaian excimer berkualiti tinggi untuk memenuhi pelbagai keperluan pelanggan kami. Sama ada anda dalam industri semikonduktor, perubatan, pemprosesan bahan, penyelidikan saintifik atau paparan, kamiSistem Excimer,Lampu Excimer, danPeralatan Excimerboleh menawarkan prestasi yang boleh dipercayai dan hasil yang cemerlang.

Jika anda berminat untuk mengetahui lebih lanjut tentang produk excimer kami atau mempunyai keperluan khusus untuk permohonan anda, sila hubungi kami untuk perbincangan terperinci. Kami menantikan peluang untuk bekerjasama dengan anda dan memberikan anda penyelesaian excimer terbaik.

Rujukan

1. Sze, SM (1981). Fizik Peranti Semikonduktor. John Wiley & Sons.
2. Wetzig, H., & Hönninger, J. (2009). Laser dalam Perubatan. Springer.
3. Sedia, JF (1997). Aplikasi Perindustrian Laser. Akhbar Akademik.
4. Venugopalan, V., & Srinivasan, R. (1993). Ablasi Laser dan Pengubahsuaian Polimer. Akhbar CRC.